(1) 测试功能

       “纳米/显微/宏观”尺度的仪器化压入和划入，主要用于测试小块或薄膜样品的弹性模量和压入硬度、薄膜临界附着力和摩擦系数等。具有连续刚度测试模式、原位压痕形貌扫描、刚度扫描和快速压入测试等功能。

       (2) 重要参数

       压入载荷量程：XP, 500mN；DCM II, 30mN； High Load, 10N。

压入载荷分辨力：XP, 50nN；DCM II, 3nN； High Load, 1mN。

Z向位移分辨力：XP, 0.01nm；DCM II, 0.0002nm； High Load, 0.01nm。

横向载荷量程：250mN。

横向载荷分辨力：2μN。

高温样品台温度范围：室温~350℃。

       X-Y平面扫描范围：Survey Scanning, 500μm×500μm；NanoVision, 100μm×100μm。