设备名称：原位纳米尺度力学测试分析系统

设备组成：　

u 扫描探针显微镜系统

            Veeco MultiMode PicoForce ^TM

u TriboScope原位纳米力学测试系统

设备简介

本系统在扫描探针显微平台上增强配备一套小载荷的压痕测试系统。在保持扫描探针显微镜高分辨率形貌观察能力的同时，增强其力学定量测量能力。使其成为高精度探测pN -mN量级小载荷的力学测量工具，并且提供带原位形貌观测的纳米压痕测量能力。

集成增强之后的系统，通过纵向闭环回路控制与探针弹性常数的定量标定，有效提高力与位移的定量测量精度。

与此同时，通过扫描探针显微平台上增强配备的小载荷压痕测试系统，能够实现材料杨氏模量、硬度等力学性质的定量测量，特别适合<200nm、低于10mN的小载荷、浅压痕测试，实现纳米量级的压痕测试。

本系统一方面利用扫描探针显微镜平台获得高分辨率的形貌图像，另一方面，同时实现小尺度条件下材料力学性质的定量测量，从而满足纳微尺度力学在形貌观测与定量力学测量两个方面同时提出的带有共性的要求。

服务功能：

1　小载荷高精度的定量力曲线测量

皮牛-微牛量级的微小力的定量测量

2  纳米量级高分辨率的表面形貌成像观测

(纵向分辨率：0.1nm;横向分辨率： 1nm)

3 材料力学性能的纳米压痕测试与原位形貌观测

小载荷(mN量级)浅压痕(<200nm)定量力学测试与原位形貌观测